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“钼”成300层+NAND必选项 机构：沉积设备迎10亿美元增量市场_我的网站

一 |     　　当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。

二 |     文赏画评          又见琴岛     张卫民/文     琴岛，又名琴屿，俗称小青岛。　　SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。

三 | 三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。

四 | 其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。位于青岛火车站东侧的海面上。　　更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。它距离海岸720米，与著名的青岛栈桥隔着两三百米的海面相望。德军占领后就叫它青岛，故此才有了青岛之名。　　该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。

五 | 日军占领后则称加藤岛。岛上树木茂密，山顶上是一个银白色的灯塔，远看与北京北海公园的白塔十分相似。

六 | 左边是长堤，堤后就是军港，几艘055D大驱静静地停靠在码头，默默地守候着你我的生活静好。

七 |     琴岛距东侧海岸370余米，有长长的海堤与陆地相连。在百度出行是购买琴岛公交卡乘公交车就可以登上琴岛，打卡琴岛灯塔，见证日军修建的军火库及其运送军火的小火车的铁轨，以更加辽阔的视角欣赏青岛的美景。　　受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。青岛人民喜欢称它小青岛。现在小青岛是青岛市的一个著名景观，文人墨客却把琴岛改称为青岛的雅号。

八 | SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。

九 |          听到琴岛的名字就觉得听到了琴声，其实不然。　　钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。

十 | 　　300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。　　375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。　　中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。　　然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。　　基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。　　爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。其中——　　沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级；　　输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送；　　CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求；　　清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入；　　刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求；　　量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。在厦门岛的鼓浪屿上曾经听到过山上音乐学院的琴声，这几年也淹没在拥挤的人群喧闹中。　　该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。

十一 | 珠海的长琴岛风景秀丽，也不过是地形似一把长琴而得名。由于是小众景点，有可能听到琴曲。而青岛的琴岛，不仅仅是地形似一把古琴，还是因为有一个关于仙女在岛上弹琴的传说而得名。（文章来源：科创板日报）。              青岛是中国最美的海滨城市，比海南的三亚、东北的大连、福建的厦门、广西的北海更胜一筹。也是我有生以来最早来到此地并且来的最多的海滨城市。         童年时光在北京，少年时代与整个学生时代都在武汉。我第一次看到大海是在大连，那是刚大学毕业进入铁四局下属的工程机械厂就被派来代表铁四局参加铁道部组织的机械制图新国标的学习。可能是因为是参加新国标编写的大连工学院的白老师上课，就安排在旅顺口区的日式小楼里，好像还是张学良住过的地方。

十二 | 学习结束后利用转火车的机会我又到大连港看了港口的大轮船。第二次是去的深圳，就是到蛇口工业区附近的海边看了一下，没有看到美丽的风景。    再就是来青岛了，一下火车就闻到海的味道。一个转身就是美丽的山海风景，海风拍打着礁石，掀起白色的浪花。风景秀丽并且别具一格的海中栈桥把视线移到停泊在军港的舰艇，不禁让人想到苏小明的《军港之夜》那柔美的旋律。在长江边长大并且酷爱游泳的我，特别喜欢宽阔的水面，所以向往大海。像伟大领袖毛主席那样，并且是响应老人家的号召，喜欢到大江大河里游泳，到风口浪尖上去锻炼。到中流击水，浪遏飞舟的意境，鼓舞着我们那一代人奋斗的脚步。当然，比大江大河更好的是大海，每次看到大海都给我留下深刻的印象。    来青岛最频繁的时期是90年在铁四局济青公路指挥部的那几年，一到星期天休息就结伴来青岛游泳。

十三 | 离开济青公路后又来青岛参观过海尔集团张总怒砸电冰箱的现场，几次过来给国家注册审核员讲课，还有岛相关企业的审核工作。    退休了，赶上在中科大当老师的儿子应山东省人工智能学会的邀请今天在黄岛组织了一个国家级的芯片领域的学术交流会议，并且需要讲一个主题讲座。暑假期间，为了看着两个孙子，把我们老两口也带来了青岛。    从青岛火车站坐一号线地铁半个小时就经过凤凰岛与团岛，穿越了海底隧道来到黄岛的希尔顿金沙滩大酒店。希尔顿金沙滩大酒就在黄岛金沙滩的海边，海边就是每年举行青岛啤酒节的地方。

十四 | 形似鲲鹏展翅的建筑物是伸向海空的臂膀是正在上演着高空蹦极的活动。    酒店的服务也确实不错。行政餐厅从早上六点半的早餐、下午两点到五点的下午茶点、晚上五点半到九点半的晚餐都是免费的，午餐也是自助餐。各种海鲜、肉类与水果菜蔬品类繁多、制法齐全。实在是琳琅满目、喷香诱人。可惜到了我这个年纪，食量萎缩，只能是少而精的挑选最好吃的东西来品尝，主要任务就是陪孙辈用餐了。看着周围那些油光锃亮的黑人和体态肥胖的白人还在大口朵颐的进食也十分令人羡慕。                        作者近照     作者简介：     张卫民，1955年6月出生，为恢复高考后的武汉理工大学汽车拖拉机首届本科毕业生；1999年，合肥工业大学管理科学硕士研究生班毕业。

十五 | 担任过助理工程师、工程师、高级工程师、设备科长、改扩建办主任、安全质量管理处质量管理科长、企业管理部体系管理处长等职务，主持过多项设计、修复、认证等项目的实施及技术管理工作，获省、部级科技进步奖多项；主编教程和发表技术、管理类论文20余篇。2004年，获安徽省质量管理专家证书；2005年，获中国质协的全国优秀培训教师称号；2006年，获质量、环境、职业健康安全管理体系的国家注册高级审核员资格；2009年，获国家注册审核员培训教师与审核员继续教育教师资格；2013年至2014年，获国家质监总局首席质量官培训教师设备监理工程师培训教师和安徽省省政府质量奖评审员资格。返回，查看更多。

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Published on:20:44:09